Термическое напыление (также известное как термическое испарение) — широко распространённый метод вакуумного напыления. Исходный материал испаряется в вакууме. Вакуум позволяет частицам параконденсироваться непосредственно на напыляемом изделии (подложке). Термическое напыление используется в микротехнологии и для изготовления таких изделий, как металлизированная пластиковая плёнка или тонированные стёкла.
Нагреть материал до температуры плавления можно разными способами – резистивным нагревателем, электронным пучком, лазером, электрической дугой, плазменным разрядом и даже индуктором (на практике не используется). В этом разделе мы сделаем акцент на резистивное испарение, а остальные методы рассмотрим в соответствующих разделах.
Резистивные испарителя по скорости осаждения бывают самых разных назначений и производительности – от больших тиглей с непрерывной подачей испаряемого материала в виде проволоки для нанесения алюминия на рулонные материалы и до эффузионной ячейки (ячейки Кнудсена) для молекулярно-пучковой эпитаксии.
Для испарения материала не требуется газовая среда, поэтому процесс нанесения покрытия проводится, как правило, при остаточном давлении. В высоком вакууме длина свободного пробега испарённых частиц больше расстояния до подложки, и они могут попадать на неё без рассеяния на молекулах остаточного газа. При характерном для процесса давлении 10−4 Па, частица диаметром 0,4 нм имеет длину свободного пробега 60 м, поэтому на подложку она попадает без столкновения с молекулами остаточного газа даже при большом расстоянии от испарителя до подложки.
Преимущества метода:
Термическое напыление применяют в процессах:
На заметку:
На установке ВАТТ 1600-ТК реализованы технологические процессы термического осаждения алюминиевого отражающего покрытия на отражатели фар и плазмохимического осаждения кремнийорганического защитного слоя. Представители компании Renault на заводе Аутомотив Лайтинг нанесли покрытия на свои отражатели на 4-х, имеющихся там, установках. После испытаний образцов только на установке ВАТТ 1600-ТК было разрешено делать отражатели для Renault.
Наша компания разрабатывает оборудование, технологические источники и технологии для нанесения покрытий методом вакуумного термического испарения в вакууме. Вы можете ознакомиться с произведенными ранее установками, где используется указанный метод или прислать техническое задание для разработки нового оборудования.
