Электронно-лучевое испарение – процесс термического испарения материала мишени, где источником испаряющей энергии является направленный поток электронов.

Как правило, испаряемый материал загружается в тигель. При необходимости нанесения многослойных покрытий применяются поворотные держатели с возможностью установки нескольких тиглей.
Электронный пучок может иметь различную фокусировку, сканировать по заданной программе по поверхности испаряемого материала. При испарении диэлектриков и широкозонных полупроводников используется пульсирующий режим.

Преимущества метода:

• Возможность получения тонких пленок металлов, сплавов и диэлектриков;
• Возможность испарения самых тугоплавких материалов с высокой скоростью;
• Отсутствие капельной фазы;
• Возможность нанесения многослойных покрытий в одном вакуумном цикле при использовании одной электронно-лучевой пушки с несколькими тиглями;
• Высокая чистота осаждаемого покрытия.

Недостатки метода:

• Проблемы с равномерностью покрытия по толщине, поскольку источник испарения точечный;
• Сравнительно невысокая адгезия и плотность покрытия;
• Относительно невысокий КПД электронно-лучевых устройств;
• Возможность появления радиационных дефектов в покрытии.

Электронно-лучевое напыление применяют в процессах:

1. Нанесение оптических покрытий;
2. Нанесение защитных покрытий на рулонные материалы, в основном, металлы;
3. Нанесение функциональных покрытий в радиоэлектронике;
4. Нанесение толстых пленок различного функционального назначения, например, термозащитных покрытий на основе оксида циркония толщиной до 100 мкм.

На заметку:

На установке ВАТТ 300 ЭЛ/СВ в условиях сверхвысокого вакуума получают пленки толщиной от нескольких нанометров для исследования физических свойств наноразмерных материалов.
В то же время, электронно-лучевым испарением наносят термозащитные покрытия (ТЗП) толщиной до 100мкм.

Наша компания разрабатывает оборудование, технологические источники и технологии для нанесения покрытий методом электронно-лучевого испарения. Вы можете ознакомиться с произведенными ранее установками, где используется указанный метод или прислать техническое задание для разработки нового оборудования.

Нанесение тонких пленок различных материалов 

ВАТТ 300 ЭЛ/СВ

Нанесение покрытий

ВАТТ 900-2ЭЛ

Оптика

Оптика

Электроника

Электроника