Однокамерная установка периодического действия. Зонная плавка осуществляется по методу «плавающей зоны» с вертикальным расположением слитка.

Корпус камеры прямоугольной формы из нержавеющей стали с электрополировкой внутренних и наружных поверхностей. Стенки камеры имеют ребра жесткости и внешние каналы охлаждения. Дверь из нержавеющей стали цилиндрической формы служит для загрузки изделий в камеру и имеет внешние каналы охлаждения. Фланцы камеры имеют двойное уплотнение и четыре патрубка для откачки пространства между уплотнителями.

Дверь снабжена открывающимся отдельно от двери смотровым модулем на базе заглушки. Смотровой модуль служит для визуального контроля и видео регистрации процесса зонной плавки для системы автоматического управления установкой.

На верхней крышке камеры расположены два отверстия для ввода в камеру приводных штоков. Система приводных штоков состоит из двух штоков разного исполнения и предназначена для передачи возвратно-поступательного и вращательного движения в вакуумную камеру для перемещения заготовки и монокристаллической затравки в процессе зонной плавки.

Вакуумная система построена на диффузионном насосе НД-400Р и двух агрегатов из насоса EH 250 и насоса E2М80 (Edwards).

Система управления обеспечивает проведение процесса в ручном и автоматическом режиме. В автоматическом режиме управления процессом переплава используется система видеоконтроля, которая позволяет оператору наблюдать за ростом кристалла на экране монитора, контролировать параметры процесса, а в случае необходимости позволяет перевести систему управления в ручной режим для корректировки параметров.