Однокамерная установка периодического действия. Установка состоит из вакуумной камеры, системы вакуумной откачки, системы охлаждения на базе холодильной машины ВМТ-12, 2-х ВЧ плазмотронов с индукторами, 2-х ВЧ генераторов, карусельного устройства, системы напуска газа и пульта управления.

Камера колпачного типа из нержавеющей стали. Корпус камеры состоит из цилиндрической обечайки и плоской крышки. Цилиндрическая обечайка имеет контур водяного охлаждения и два смотровых окна Ду100 друг напротив друга. Плоская верхняя крышка имеет контур водяного охлаждения, два смотровых окна Ду40 и фланец крепления к подъемному механизму

Система вакуумной откачки состоит из насоса ADP122 (Adixen), насоса EH500 (Edwards), вакуумных клапанов, 2 вакуумметров Мерадат ВИТ-14. Для подачи рабочих газов используются регуляторы РРГ-10.

Установка предназначена для эксплуатации в стационарных условиях в помещении категории Д по противопожарным требованиям «СНиП» с атмосферой типа П по ГОСТ 15150-69 при температуре окружающего воздуха от 283 до 308К (от 10ºС до 35ºС). Установка изготавливается в климатическом исполнении УХЛ категории 4 по ГОСТ 15150-69. Питание установки осуществляется от сети переменного тока напряжением 380В ± 5% , частотой 50 Гц.