Однокамерная установка периодического действия.
Камера прямоугольной формы из нержавеющей стали. Стенки камеры имеют ребра жесткости. Камера имеет откатную дверь, которая предназначена для загрузки тележки с обрабатываемыми изделиями в камеру.
Обрабатываемые изделия размещаются на загрузочной тележке. На днище камеры располагаются четыре направляющие для закатывания тележек.
Система охлаждаемых ВЧ электродов (13,56 мГц) размещается внутри камеры на корпусе.
Вакуумная система построена на насос вакуумный двухроторный ДВН-500 агрегат вакуумный золотниковый АВЗ-180.
Установка имеет систему охлаждения замкнутого типа на основе холодильной машины ВМТ20.
Система управления установки обеспечивает работу в ручном режиме с элементами автоматического поддержания режимов технологического процесса
Плазмофизические технологии обработки