PlasmaModular
Настольные ВЧ плазменные систем.

Оборудование серии PlasmaModular является модульными настольными вакуумными системами для проведения высокочастотной (ВЧ) плазменной обработки (RFPT технологии, от англ. Radio Frequency Plasma Treatment) различноых материалов и предназначено для решения широкого спектра технологических задач, таких как травление, активация поверхности, очистка, стерилизация, полировка.

Широкий потенциал оборудования обеспечивается схемой исполнения систем на базе единой платформы, в состав которой входят технические средства создания вакуума, измерения давления, подачи газов, управления, электропитания; и технологического модуля, в состав которого входят вакуумная камера и устройства генерации высокочастотного газового разряда, при этом платформа имеет стандартное конструктивное исполнение, тогда как технологический модуль может быть сменным и иметь различное конструктивное исполнение для различных технологических процессов обработки. Оборудование опционально оснащается аналитическими и диагностическими приставками для контроля параметров технологического процесса или проведения научных исследований.


Технические характеристики:
Рабочее давление 1 – 100 Па.
Предельное остаточное давление
0,1 Па.
Объем вакуумной камеры
40 л.
Мощность ВЧ генератора
600 Вт.
Частота генерации плазмы
13,56 МГц.
Количество каналов газоподачи
2-4
Габаритные размеры установки
600х600х700 мм.
Вес установки 100 кг 

Технологии, реализованные в оборудовании:
Отраслевые решения:
Не нашли подходящее Вам оборудование?
У Вас нестандартная задача?
Вам необходимо вакуумное оборудование по индивидуальной разработке?
Пришлите нам Вашу задачу, и наши специалисты предложат для Вас решения!