Оборудование серии PlasmaModular является модульными настольными вакуумными системами для проведения высокочастотной (ВЧ) плазменной обработки (RFPT технологии, от англ. Radio Frequency Plasma Treatment) различноых материалов и предназначено для решения широкого спектра технологических задач, таких как травление, активация поверхности, очистка, стерилизация, полировка.
Широкий потенциал оборудования обеспечивается схемой исполнения систем на базе единой платформы, в состав которой входят технические средства создания вакуума, измерения давления, подачи газов, управления, электропитания; и технологического модуля, в состав которого входят вакуумная камера и устройства генерации высокочастотного газового разряда, при этом платформа имеет стандартное конструктивное исполнение, тогда как технологический модуль может быть сменным и иметь различное конструктивное исполнение для различных технологических процессов обработки. Оборудование опционально оснащается аналитическими и диагностическими приставками для контроля параметров технологического процесса или проведения научных исследований.
Плазмофизические технологии обработки