Однокамерная установка периодического действия.

Основное назначение установки нанесение хрома, нихрома или титана-алюминия на заготовки ключей методом магнетронного распыления. Изделия размещаются на вертикальных узлах, которые в свою очередь закрепляются в системе планетарного вращения, с механизмом электроизолированным от корпуса. Для подвода смещения к планетам используется система силовых токоподводов.

Изделия проходят между 2 парами магнетронов, каждая из которых имеет одинаковые мишени и расположены друг напротив друга. Всего используется 4 магнетрона, 2 из которых расположены в центре камеры, а 2 в карманах корпуса.

Изделия подвергаются обработке в тлеющем разряде, затем обработке в плазме магнетронного разряда при подаче на изделия потенциала смещения 200-400 В, затем наносится покрытие, последовательно, с помощью одной пары магнетронов, а затем другой.

Вакуумная система на основе двух диффузионных насосов НВДМ400 и форвакуумного агрегата из одного насоса ДВН-150 и двух насосов НВР-90 (или один АВЗ-180).

Все элементы установки, за исключением форвакуумного насоса, размещены на единой раме, что существенно снижает время проведения пуско-наладочных работ.

Установка предназначена для работы в автоматическом или ручном режиме. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.