Нанесение проводящего покрытия In2O3-SnO2 (ITO) магнетронным распылением из мишени In-Sn в среде Ar-О2 на подложки размерами Ø 35 мм и Ø 50 мм.
Однокамерная установка периодического действия.
Вакуумная камера вертикального исполнения изготовлена из нержавеющей стали. Крышка камеры поднимается при помощи электроподъёмника и служит для обслуживания внутрикамерных устройств.
На крышке размещены: механизм вращения изделий, приводимый в движение мотор-редуктором, нагреватель, кварцевый толщиномер, поворотная заслонка с пневмоприводом.
Скорость вращения кассеты с изделиями варьируется от 4 до 40 об/мин.
Плоское круглое днище из нержавеющей стали крепится к основанию обечайки при помощи зажимов для крепления к фланцам с резьбовыми отверстиями. На днище размещается круглый магнетрон.
Вакуумная система построена на турбомолекулярном насосе EXT 556 и насосе пластинчато-роторном E2M40. Технологический процесс проводится по емкостному датчику CMR274. Питание магнетрона импульсное 40÷100 кГц.
