Проходная установка непрерывного действия модульного типа.

Базовая комплектация состоит из модуля загрузки (шлюзовая камера и камера догона), трех технологических модулей и модуля выгрузки (шлюзовая камера и камера догона). Количество технологических модулей может быть увеличено до 6-10 шт.

Первый технологический модуль обеспечивает обработку изделий ионными источниками. Во втором технологическом модуле обеспечивается нанесение на изделия никеля магнетронами. В третьем технологическом модуле производится осаждение олова или его сплавов с помощью дуговых испарителей. Все технологические источники протяженного планарного типа, а все их блоки питания инверторного типа.

Для крепления изделий используются плоские кассеты размером 600х700х15 мм. Перемещения кассеты с изделиями осуществляется с помощью роликового транспортера. В зависимости от технологического процесса, может быть использован режим сканирования кассеты с изделиями «туда - обратно» около соответствующего технологического источника или режим прохождении рамки «в одну сторону».

В технологических модулях обеспечивается двухсторонняя обработка кассеты с изделиями.

Вакуумная система установки построена на основе турбомолекулярных насосов ATH2303M в агрегате с насосом 2063SD и агрегатов на основе насоса Рутса RSV601B с насосом 2063SD (Adixen).

Установка может работать в ручном и автоматическом режимах.

Система управления построена на основе контроллеров в каждом модуле и контроллерной панели.