Однокамерная установка периодического действия.

Вакуумная камера сделана из нержавеющей стали, имеет форму параллелепипеда внутренние размеры которой составляет длину 2950 мм, ширину 1500 мм и высоту 4000 мм. Вакуумная камера состыкована по длине из двух равных частей. Стенки камеры плоские, водоохлаждаемые, с внешними ребрами жесткости. Внутренняя поверхность вакуумной камеры защищена от нагрева и запыления съемными двухслойными экранами из полированной нержавеющей стали толщиной 0,8 мм.

Двери расположены по торцам камеры и имеют размер проема 1500х4000 м. Двери оснащены электромеханическим приводом перемещения. На передней двери располагается система крепления покрываемых изделий. На задней двери крепится система нанесения покрытий, состоящая из двух пар магнетронов, расположенных друг против друга. Блок магнетронов перемещается вдоль изделий по направляющим.

Вакуумная система построена на основе 4 диффузионных насосов типа НД-630э и 2 форвакуумных агрегата на основе насосов Е2М275 и ЕН2600 фирмы Edwards.

Для измерения давления применяются датчики фирмы Pfeiffer: комбинированный PKR251, тепловой TPR281, емкостный CMR 374. Система напуска газов построена на основе регуляторов типа РРГ-10 и имеет 3 независимых линии.

Установка включает в себя холодильную машину оборотного водоснабжения. Установка имеет систему автоматического управления на основе контроллера и компьютера и обеспечивает проведение технологического процесса в ручном и автоматическом режимах.