ВАТТ 44
Нанесение керамических термобарьерных слоев.

Является проходной четырехкамерной установкой непрерывного действия, с шлюзами загрузки и выгрузки изделий.

Имеет две камеры нанесения покрытия, с двумя дуальными магнетронными системами, каждая.

Изделия закрепляются на специальной кассете. В зоне нанесения покрытия одновременно может находиться две кассеты с изделиями. Кассета с изделиями может перемещаться в прямом и обратном направлении. Обеспечивается вращение изделий в положениях обработки вокруг своей оси.

На всех этапах обеспечивается двухсторонняя обработка изделий.

Процесс нанесения покрытий в каждой из двух магнетронной камер контролируется оптический спектральный контроль плазмы.

Температура изделия в процессе нанесения покрытия контролируется пирометрами.

Для очистки изделий, в шлюзовой камере загрузки, расположены два ионных источника и два нагревателя.

Высоковакуумная система установки построена на основе турбомолекулярных насосов.

Установка включает в себя холодильную машину оборотного водоснабжения.

Установка может работать в ручном и автоматическом режимах.

Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.

Технические характеристики:
Предельное остаточное давление 1·10-5 мм. рт. ст.
Внутренний полезный объем
1100 л
Внутренние размеры каждой камеры ВхШхД
1050х200х1300 мм.
Толщина получаемого покрытия
50-100 мкм.
Температура нагрева изделий
850 ºС
Установленная мощность
170 кВт
Средняя потребляемая мощность
80 кВт.
 Габаритные размеры установки ВхШхД 2500х6000х2500 мм.
Масса установки 4000 кг.
Технологии, реализованные в оборудовании:
Отраслевые решения:
Не нашли подходящее Вам оборудование?
У Вас нестандартная задача?
Вам необходимо вакуумное оборудование по индивидуальной разработке?
Пришлите нам Вашу задачу, и наши специалисты предложат для Вас решения!