Однокамерная вертикальная установка периодического действия, барабанного типа.

Нанесение на подложки из керамики, ситалла, ферритов пленок из меди, алюминия, хрома, титана, тантала, резистивных сплавов.

Камера вертикального исполнения, является сварной, изготовлена из нержавеющей стали с электрополировкой внутренних поверхностей.

Двери цилиндрической формы служат для загрузки изделий и обслуживания внутрикамерных устройств. Двери и корпус имеют внешние каналы охлаждения и фланцы крепления технологических устройств.

Все внутренние поверхности камеры защищены двойными тепловыми экранами.

Барабан вертикального типа, выполнен из нержавеющих элементов и предназначен для быстрой смены держателей подложек. Конструкция обеспечивает передачу потенциала к подложкам, а также поочередное переворачивание кассет во время вращения. Экраны, установленные в верхней части барабана, не допускают запыления важных элементов движения механизма.

В камере установлены два планарных магнетрона и планарный ионный источник очистки.

В центре камеры установлены теновые нагреватели для нагрева изделий.

Вакуумная система построена на основе турбомолекулярного насоса Edwards STPA 2203C ISO250F и форвакуумного насоса Adixen 2063SD.

Система управления построена на базе программируемого контроллера и обеспечивает возможность проведения технологического процесса как в автоматическом, так и в ручном режиме управления.