Является однокамерной установкой периодического действия.

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали. Крышка камеры, поднимающаяся при помощи гидропривода, служит для обслуживания внутрикамерных устройств. На двери прямоугольной типа, используемой для смены подложек, имеется смотровое окно с заслонкой для визуального контроля процессов напыления и очистки подложки. На днище размещены магнетроны, ионный источник, термический испаритель с вибробункером, нагреватели и пневмоуправляемые заслонки. Технологические устройства имеют одинаковый монтажный фланец, что позволяет использовать различные сочетания в зависимости от технологии.

Процессы нанесения покрытий осуществляется магнетронным и термическим методами. Для очистки подложек, перед нанесением покрытия, используется ионный источник.

На крышке камеры расположен ввод вращения с магнитно-жидкостным уплотнением, располагаемого в водоохлаждаемом стакане. Вал ввода предназначен для вращения карусели, а также для вывода проводов от свидетеля и термометра сопротивления на токосъемник.

Вакуумная система построена на основе криогенного насоса Cryo-Torr 8 и спирального насоса ISP-1000 (Anest Iwata).

Система управления выполнена на базе контроллера и компьютера и обеспечивает возможность проведения технологического процесса, как в автоматическом, так и в ручном режимах.