Установка вакуумная «ВАТТ-400-2М-БИН» является однокамерной установкой периодического действия и предназначена для нанесения многослойных, нанометровых металлических покрытий на нетермостойких полимерных пленках.

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали и имеет две двери. На верхней стенке камеры расположены патрубки, к которым присоединяются турбомолекулярный насос, система напуска воздуха в камеру, датчики давления. На дверях имеются два смотровых окна для контроля за магнетронами, и одно окно для контроля температуры подложки.

На боковых стенках размещены 2 магнетрона, водоохлаждаемые экраны и аноды. Магнетроны и водоохлаждаемые аноды имеют возможность регулирования расстояния до подложки. Все внутренние поверхности камеры защищены экранами.

На днище камеры расположен ввод вращения с магнитно-жидкостным уплотнением. Вал ввода предназначен для вращения барабана с подложкой, так же через вал подается и отводится вода для охлаждения барабана и гелий для охлаждения подложки.

Подложка крепится на специальной рамке на барабане. Особенность технологического процесса нанесения покрытий бинарных структур состоит в том, что температура подложки в процессе нанесения покрытия не должна превышать 50ºС. Это обеспечивается специальной конструкцией магнетрона, дающего минимальный тепловой поток на подложку. А также водоохлаждаемыми дополнительными анодами, экранами и барабаном. Подложка с обратной стороны обдувается гелием. Контроль температуры подложки производится пирометром через смотровое окно, выполненное из cеленида цинка.

Вакуумная система построена на турбомолекулярном насосе ATH1300M (Adixen) и безмасляном форвакуумном насосе PS80A (Hanbell).