Автоматизированная вакуумная напылительная система, модель ВАТТ 400, предназначена для мелкосерийного прецизионного напыления подложек магнетронным распылением. Применяется в микроэлектроники и полупроводниковую подложку. Вакуумная камера изготовлена из алюминия размерами 400 мм х 400 мм и высотой 600 мм. Изнутри, вакуумная камера и дверь защищены от напыления легко снимаемыми защитными кожухами. Установка включает в себя два магнетрона Ø75 мм, нагреватели, вращающий столик с вертикальным перемещением, систему очистки тлеющим разрядом.

Система откачки состоит из турбомолекулярного насоса производительностью 1000 л/с и форвакуумного насоса.

Система управления позволяет осуществлять как полностью автоматическое, так и ручное управление циклом напыления, редактировать рецепты техпроцессов, защищенный трехуровневый вход (оператор, сервис-инженер, администратор); визуализация данных в процессе напыления в виде: графиков роста пленки (скорости и толщины), параметров давления и температуры, скорости подачи газов, запись протоколов процесса, событий и ошибок; встроенная система помощи и инструкция по эксплуатации; возможность диагностики и обновления программного обеспечения с удаленного компьютера по интернету, модемной связи или с консоли установки.