Установка является двухкамерной установкой периодического действия.

Первая камера – технологическая, служит для проведения технологического процесса, вторая – шлюзовая.

Вакуумные камеры изготовлены из нержавеющей полированной стали.

Основная, рабочая камера все время находится при высоком вакууме. Подложки вводятся в основную камеру через шлюзовую камеру, что обеспечивает высокую повторяемость покрытий и повышает производительность установки.

Для предварительной обработки в рабочей камере используются ионный источник и нагреватель.

Для нанесения покрытий используется два магнетрона с диаметром мишени 100мм.

Магнетроны, ионный источник и нагреватель расположены на крышке камеры.

Магнетроны и ионный источник имеют пневмо- управляемые заслонки.

Используется система подачи газов в рабочую камеру по трем каналам.

Вакуумная система построена на основе турбомолекулярного насоса STPA1303C и спирального насоса XDS35i.

Установка имеет автоматический и ручной режимы работы. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.