Установка предназначена для нанесения тонких пленок различных материалов в сверхвысоком вакууме (до 10^-9 мм. рт. ст.) на подложку диаметром до 150 мм или несколько подложек меньшего размера с использованием соответствующих адаптеров методом электронно-лучевого испарения.

Является трех камерной установкой. Камеры установки изготовлены из полированной нержавеющей стали.

Первая камера - камера напыления, служит для проведения технологического процесса. Камера напыления покрывается толстым слоем теплоизоляции.

Вторая камера - перчаточный бокс позволяет оператору, в среде азота, вручную загружать подложку на держатель носителя образцов.

Третья камера – шлюзовая камера (аванкамера), служит для введения подложки в перчаточный бокс. Безмаслянная вакуумная система построена на основе магниторазрядного, турбомолекулярного и спирального насосов.

Установка имеет автоматический и ручной режимы работы. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.