Однокамерная установка периодического действия.
Вакуумная камера представляет собой сварной цилиндр с внутренним диаметром Ø1800 мм. Вакуумная камера оснащается передней откатной и задней не откатной съемной торцевыми крышками. Все элементы конструкции изготовлены из немагнитной нержавеющей стали. Передняя крышка оснащена пневматическим прижимным устройством и 6 смотровыми окнами с поворотными заслонками для наблюдения за технологическим процессом. Передняя крышка при открывании откатывается в сторону поперек оси камеры.
Лента-подложка наматывается на наружную поверхность водоохлаждаемого барабана Ø1300 мм, длина зоны намотки 1500 мм. Параметры ленты: ширина 4 мм, толщина 0,05…0,1 мм и длина 1050 м.
Для нанесения покрытия используется 2 магнетронных источника, а для ориентирования структуры растущего покрытия 4 ионных источника.
Система газонапуска реализована на базе регуляторов расхода газа MKS РМРГ 2179 и имеет 8 каналов.
Вакуумная система построена на основе четырех турбомолекулярных насосов STP XA3205C и двух агрегатов сухой форвакуумной откачки GXS160/1750. Установка может работать в ручном и автоматическом режимах. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.
