Установка обеспечивает атомно-слоевое осаждение на твёрдых, дисперсных и пористых образцах.
Камера, реакторы и все трубопроводы изготовлены из нержавеющей полированной стали.
Обеспечивает использование в качестве прекурсоров газообразные (2), жидкие (4) и твердые реагенты (2).
Система откачки реализована на базе химостойкого пластинчато-роторного насоса с системой фильтрации масла. Перед входом в насос стоит азотная и цеолитовая ловушки.
Система водяного снабжения предназначена для подачи холодной воды в корпус камеры, контуры охлаждения крышки и днища. Циркуляция и охлаждение воды осуществляется при помощи чилера Unichiller UCO15H. Наличие необходимого расхода воды в системе определяется автоматически ротаметрами с датчиками уровня расхода.
Для работы с дисперсными материалами установлен прибор анализа газовой среды МКС VISION 2000-С, 300 а.е.м. с форвакуумным насосом.
Установка обеспечивает проведение технологического процесса в автоматическом режиме с сохранением всех шагов и технологических параметров в памяти компьютера.
