Однокамерная установка периодического действия.

Вакуумная камера, шестигранной формы, изготовлена из нержавеющей стали с одной дверью для загрузки изделий и обслуживания, с симметричным размещением технологических источников.

Для нанесения покрытий используются три планарных дуговых источника и планарный ионный источник. Технологические источники размещаются в специализированных карманах на корпусе камеры.

Изделия подвергаются обработке в тлеющем разряде, затем обработке в плазме дугового разряда при подаче на изделия потенциала смещения 1000 В, затем наносится покрытие с помощью дугового разряда с подачей смещения на изделия 60-100В и ассистировании нанесения покрытия с помощью ионного источника.

Основное назначение установки нанесение многослойного покрытия из титана и нитрида титана на лопатки паровых турбин. Изделия размещаются на вертикальных узлах, которые в свою очередь закрепляются в системе планетарного вращения, с механизмом электроизолированным от корпуса. Для подвода смещения к планетам используется система силовых токоподводов.

Вакуумная система на основе двух диффузионного насоса НД-500 и форвакуумного агрегата из одного насоса ДВН-150 и двух насосов НВР-90.

Установка предназначена для работы в автоматическом или ручном режиме.