Однокамерная установка периодического действия. Основное назначение установки – нанесение декоративного твердого покрытия, типа нитрида титана на строительную фурнитуру, типа дверных или оконных петель и ручек. Изделия размещаются на вертикальных узлах, которые в свою очередь закрепляются в системе планетарного вращения, с механизмом электроизолированным от корпуса. Для подвода смещения к планетам используется система силовых токоподводов.
Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали с одной дверью для загрузки изделий и обслуживания, с симметричным размещением технологических источников. Технологические источники размещаются в специализированных карманах на корпусе и двери камеры.
Для нанесения покрытий используются три планарных дуговых испарителя.
Корпус камеры, крышка камеры, фланцы крепления технологических источников и ввод вращения водоохлаждаемые.
Для размещения изделий используется система планетарного вращения, с механизмом электроизолированным от корпуса. Для подвода смещения к планетам используется система силовых токоподводов.
Вакуумная система на основе диффузионного насоса НД500, насос Е2М275 и насоса ЕН1200, Edwards.
Все элементы установки размещены на единой раме, что существенно снижает время проведения пуско-наладочных работ.
Установка предназначена для работы в автоматическом или ручном режиме.
Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.