Однокамерная установка периодического действия.

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали с одной дверью для загрузки изделий и обслуживания, с симметричным размещением технологических источников. Технологические источники размещаются в специализированных карманах на корпусе камеры.

Для нанесения покрытий используются два планарных дуговых источника и два планарных магнетрона – все длиной 1800мм. Блоки питания технологических источников и смещения инверторного типа фирмы «Эсто-Эл».

Для размещения изделий используется система планетарного вращения, с механизмом электроизолированным от корпуса. Для подвода смещения к планетам используется система силовых токоподводов.

Корпус камеры, крышка камеры, фланцы крепления технологических источников и ввод вращения водоохлаждаемые.

Вакуумная система на основе диффузионного насоса НД500, двух насосов НВР-90 и насоса НВД- 600.

Установка включает в себя холодильную машину оборотного водоснабжения ВМТ25.

Установка может работать в ручном и автоматическом режимах.

Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.