Однокамерная установка периодического действия. Вакуумная камера из полированной нержавеющей стали с внутренним диаметром 900мм.

Для нанесения покрытия используются 2 электронно-лучевых (один с одним тиглем и один с четырьмя тиглями), один резистивный испаритель и источник ионного ассистирования.

Для подготовки изделий используется источник ионной очистки и система нагрева подложек (сверху) до заданной температуры с вращением арматуры, контролем и поддержанием температуры в процессе напыления слоёв.

Для контроля и управления процессом используется система встроенного спектрального оптического контроля толщины покрытия в диапазоне длин волн 250-1100 нм на отражение и пропускание и система измерения толщины и скорости нанесения покрытия по изменению параметров кварцевого датчика (магазин на 6 датчиков).

Система водоохлаждения с автономным подогревом и рециркуляцией воды.

Система автоматического напуска 3 технологических газов в рабочую зону и контроля их расхода, регулирования и поддержания заданного давления.

Комплект подложкодержателей с системой планетарного вращения.

Установка имеет в своем составе криосистему для удаления паров воды типа Policold.

 Вакуумная система на основе диффузионного насоса.

Установка может работать в ручном и автоматическом режимах. Система управления построена на основе промышленного компьютера с выводом параметров на монитор.