Установка вакуумная напылительная «ВАТТ 3000-ЭД» предназначена для нанесения многослойных покрытий на основе металлов и их соединений методом дугового распыления на архитектурное стекло размерами 3210х2250.
Вакуумная система включает в себя агрегат на базе золотникового форвакуумного насоса АВ3-150 и бустерного насоса ДНВ-150, а также 4-х диффузионных насосов НВДМ-400.
Оборудование полностью автоматизировано и снабжено системой контроля оптических характеристик в диапазоне 350 – 720 нм.
|
Производительность установки |
14,45 м2/цикл |
|
Предельное остаточное давление |
6,56·10-3 мм. рт. ст. |
|
Давление во время ионной очистки |
1,3 – 6,6 Па |
|
Давление при напылении |
1,5 - 6·10-2 Па |
|
Средняя потребляемая мощность |
48 кВт |
| Максимальная потребляемая мощность |
98 кВт |
|
Габаритные размеры установки при открытой крышке |
5500х2800х3200 мм |
