Автоматизированный многофункциональный комплекс магнетронного нанесения покрытий, состоящий из двух камер.
Большая камера горизонтального исполнения, прямоугольной формы, изготовлена из нержавеющей стали с электрополировкой внутренних поверхностей. Стенки корпуса имеют ребра жесткости. Двери из нержавеющей стали прямоугольной формы с электрополировкой внутренних поверхностей служат для загрузки изделий в камеру, обслуживания испытываемых устройств и наблюдения за процессом испытания через смотровые окна. В большой камере размещены три планарных магнетрона, протяженный источник ионов, а также три круглых магнетрона и круглый источник ионов.
В камере также размещается модуль перемещения, который обеспечивает линейное движение с определенной скоростью и остановку в любой точке камеры заданной оператором. Модуль состоит из каретки, направляющих, ввода и системы передачи движения. На каретке крепится термоплита, для поддержания температуры покрываемых образцов.
Малая камера сварная, вертикального исполнения, колпачного типа изготовлена из нержавеющей стали. Поднятие колпака осуществляет электромеханический подъемник. В малой камере размещены четыре круглых магнетрона и один источник ионов.
Вакуумная система единая для обеих камер и построена на криогенном насосе CTI Cryogenics Cryo Torr 8 и спиральном форвакуумном насосе Anest Iwata ISP-500С. Для переключения откачки между камерами используется специальная распределительная камера с комплектом затворов.
Установка может работать в ручном и автоматическом режимах.
Наши инженеры помогут создать решение, которое идеально впишется в ваш производственный процесс
